超声雾化吸入法是应用超声波将药液变成细微的气雾，再由呼吸道吸入的方法。其雾量大小可以调节，雾量小而均匀，药液可随深而慢的吸气到达终末支气管和肺泡。超声雾化吸入及氧气雾化吸入技术操作的并发症大致相同，故一并介绍。